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碳、氮沉积形成CNx的第一性原理研究

刘军 , 刘桂勇 , 陈志冈

稀有金属材料与工程

采用第一性原理方法研究了单个C、N原子以及C2、N2和CN团簇在硬质合金表面的吸附结构、吸附能和成键情况.研究发现,WC(100)对C、N原子及C2和CN团簇都成化学吸附,但对N2团簇不吸引.态密度分析表明,C、N原子及C2团簇与WC(100)表面W原子相互作用导致新的化学键的生成.N2团簇在WC(100)表面的态密度变化不大,对WC(100)表面的影响很小.对CN团簇,由于CN分子的吸附,W-CN键的离子性增强,使得CN能够较稳定地吸附在WC(100)表面上.

关键词: 氮化碳 , 第一性原理 , 沉积

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