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多晶硅化学气相沉积过程气相与表面反应模拟验证

倪昊尹 , 陈彩霞

人工晶体学报

针对SiHCl3-H2体系下硅的化学气相沉积过程,采用边界层反应模型和Chemkin模拟软件,耦合不同气相与表面化学反应机理,对不同条件下硅的沉积速率,高温下HCl气体对硅表面的侵蚀速率进行了模拟计算.与文献报道的三组实验数据进行对比,验证现有反应机理的模拟精度,确定一套修正化学反应机理可以较为准确地预测工业级西门子多晶硅还原炉条件下多晶硅的沉积速率.

关键词: 多晶硅 , 化学气相沉积 , 数值模拟 , 反应机理

硅烷热解多晶硅气相沉积反应模型分析与验证

樊友雯 , 陈彩霞

人工晶体学报

在综述现有硅烷热解反应机理的基础上,针对Ho等人提出的气相和表面反应机理,采用二维边界层反应模型和CHEMKIN软件,对水平单基片CVD反应器进行模拟分析,计算结果与文献报道的实验数据拟合良好;通过改变硅烷进气浓度和进气温度,分析沉积速率的变化和各表面反应的贡献率,得到硅微粉再沉积过程随浓度和温度的变化规律;使用上述机理模型,计算了硅烷流化床对应的操作温度和硅烷浓度条件下的沉积速率,与文献报道测量结果比较,误差在合理范围,表明该机理适用于硅烷流化床化学气相沉积过程的CFD耦合模拟.

关键词: 硅烷 , 多晶硅 , 硅微粉 , 数值模拟

Al2O3短纤维/M124F复合材料的凝固组织

徐蕾 , 陈彩霞 , 吴申庆

复合材料学报

采用挤压铸造法制备了Al2O3短纤维增强M124F铝合金复合材料,并研究了其拉伸强度、基体凝固组织和界面.结果表明:用挤压铸造法制备的复合材料组织致密,纤维分布均匀,抗拉强度与M124F相比明显提高;基体组织的α-Al枝晶和Si相明显细化.分析表明,纤维的加入具有双重增强作用:高强度陶瓷纤维的介入增强了基体材料的力学性能;在凝固过程中,Al2O3短纤维阻碍了a-Al枝晶的生长,同时可作为Si相非自发形核的衬底,细化了基体组织,提高了复合材料的力学性能.纤维与基体间未发现界面生成物MgAl2O4.

关键词: 挤压铸造 , 氧化铝短纤维 , M124F铝合金 , 拉伸强度 , 凝固组织 , 界面

融合色度模型和半径大小的苹果分级算法

陈彩霞 , 王玉德 , 周福鹏

连铸 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2015.02.004

为了提高苹果分级技术,采用了一种融合色度模型和半径大小的苹果分级算法.对样本图像进行灰度处理,运用自适应阈值分割法得到样本的二值图,计算出苹果果实的像素半径,根据果实像素半径与苹果实际半径的关系即得到实际半径;同时,通过样本图片RGB图像到HSV空间的转换,提取出包含色彩信息的H分量,并计算出红色比例;最后按照苹果半径大小和红色色度值对苹果进行分级.通过算法分级结果与现场人工分级结果的比较,表明本算法对苹果的分级是有效的,且分级准确率高达96%.

关键词: 图像处理 , HSV模型 , 二值化 , 半径大小 , 分级

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