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热丝CVD法制备大面积金刚石薄膜基片的变形

陈峰武 , 周灵平 , 朱家俊 , 李德意 , 彭坤 , 李绍禄

机械工程材料

采用热丝CVD法制备的大面积金刚石薄膜存在基片变形严重的问题，通过对热丝CVD设备和沉积工艺进行改进，成功解决了直径76mm、厚度0．4mm硅片的变形问题。结果表明：改进后金刚石薄膜基片的翘曲度为0．296%，比改进前的降低了88．9％；改进后金刚石薄膜的质量及晶粒大小均匀，膜厚不均匀度仅为1．53％，具有优异的大面积均习性。

关键词: 金刚石薄膜 , 热丝CVD , 变形 , 均匀性