王敏
,
郑浩岩
,
杨长秀
,
高兴莹
,
董竹希文
,
罗洋
,
陈垚
材料工程
doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2015.09.002
采用乙二醇溶胶-凝胶法制备了BiVO4样品,研究了不同反应pH值对样品的形貌及光催化活性的影响.通过SEM,XRD,XPS和UV-Vis等表征手段对样品的形貌、物相以及光学性能进行表征和分析.结果表明:所制备的样品纯度较高,均为单斜型BiVO4光催化剂,并且随着反应pH值的改变,样品的形貌及光学性能也随之改变;当pH值为5时,产物为不规则的片状结构;当pH值增至7和9时,产物片状结构大量减少,表现出明显的颗粒状结构;当反应pH值增至11和13时,产物颗粒状结构团聚明显.当pH值为9时,所制备的样品具有最小的禁带宽度以及最小的晶体粒径,并且表现出最高的光催化活性,在250W金属卤化物灯下光照50min,对甲基橙的脱色率可达66.23％.
关键词:
钒酸铋
,
乙二醇
,
光催化
,
甲基橙
,
溶胶-凝胶
陈垚
,
张轩雄
金属学报
结合Ｓｉ体微机械技术和电镀技术加工出Ｆｅ－Ｎｉ／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁, 其中Ｆｅ－Ｎｉ膜厚３μｍ, Ｃｕ膜厚０．２μｍ, 利用共振法首次测出在１．３Ｐａ气压下, 复合悬臂梁中Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ６４, Ｎｉ３６, 质量分数％）电镀沉积膜的内耗为１０＾－３, 利用自行设计的微力／微位 天平法, 测出Ｆｅ－Ｎｉ（Ｆｅ５７, Ｎｉ４３）／Ｃｕ／Ｓｉ复合悬臂梁的Ｙｏｕｎｇ‘ｓ模量为１．９×１０＾１１Ｎ／ｍ＾２.
关键词:
微机械
,
null
白雪清
,
于爱兵
,
贾大为
,
陈垚
硅酸盐通报
doi:10.3969/j.issn.1001-1625.2006.04.029
随着可加工陶瓷材料的研发与应用,可加工陶瓷材料的机械加工技术逐渐成为当今的研究热点之一.本文综述了可加工陶瓷在机械加工过程中的材料去除特性、刀具磨损、加工工艺及可加工性评价,内容涉及加工表面质量、去除机理、加工损伤、材料去除率、刀具参数、切削参数、表面粗糙度、冷却和可加工性综合评价,并提出了今后的研究发展方向和趋势.
关键词:
可加工陶瓷
,
材料去除
,
刀具磨损
,
加工工艺
,
可加工性
陈垚
,
张轩雄
,
熊幸果
,
王渭源
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2000.05.016
结合Si体微机械技术和电镀技术加工出Fe-Ni/Cu/Si复合悬臂梁,其中Fe-Ni膜厚3 μm,Cu膜厚0.2 μm.利用共振法首次测出在1.3 Pa气压下,复合悬臂梁中Fe-Ni(Fe 64,Ni 36,质量分数,%,下同)电镀沉积膜的内耗为10-3.利用自行设计的微力/微位移天平法,测出Fe-Ni(Fe 57,Ni 43)/Cu/Si复合悬臂梁的Young's模量为1.0×1011N/m2.Fe-Ni电镀沉积膜的内应力随膜中Fe含量的增加先是增大然后减小.在Invar合金(Fe 64,Ni 36)成分附近达到最大约300 MPa.Fe-Ni电镀膜的热膨胀系数与膜中Fe含量关系则与内应力相反,但与合金体材料变化趋势一致,在Invar合金成分附近达到最小,其值高于相应成分的合金体材料,约6×10-6/℃.
关键词:
微机械
,
Fe-Ni合金电镀沉积膜
,
内应力
,
热膨胀系数
,
Young's模量
,
内耗
周梁
,
韩大伟
,
孙泉钦
,
王丹名
,
李华
,
陈垚
液晶与显示
doi:10.3788/YJYXS20153005.0813
在 TFT-LCD 行业,PECVD 设备主要用于 Array TFT 基板工艺中的气相沉积；产生的非金属膜层,为金属电路提供保护、开关作用；在 PECVD 工艺制程中,腔体设计复杂,反应条件苛刻,产生的制程物会造成产品不良,故需要定期进行 PM(pre maintenance 预防性维护)。本文以 PECVD PM 作业为背景,针对设备 PM 耗时长的问题,制定了改善方法,并着重介绍了腔体检漏工具的设计过程。设计制作了一台国产化检漏工具,成功运用于量产。通过测试,检漏工具3 min 内达到10 mT(1 mT＝0．133 Pa),漏率为0．45 mT/min,基本符合设备 Spec．(标准)要求。
关键词:
TFT-LCD
,
PECVD
,
腔体检漏工具
,
自主设计
