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新型掺杂LiAlO2晶体衬底研究

孙洋 , 董亚明 , 陈勇华 , 陈兆南 , 谭玲 , 邹军 , 周圣明

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2006.05.036

本文系统研究了LiAlO2晶体及掺钛0.2%原子分数LiAlO2晶体的水解性能,用原子力显微镜对(100)晶片在不同水解时间下的表面形貌进行了观察,对比发现这两种晶体的(100)面均具有极性和易水解性.同时观察到掺钛LiAlO2晶体的抗水解性比纯LiAlO2晶体更好,因为掺钛LiAlO2晶体有更多的Li空位,水解的活性得到降低.

关键词: LiAlO2 , 原子力显微镜 , 表面粗糙度

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