陈义川
,
胡跃辉
,
张效华
,
马德福
,
刘细妹
,
徐斌
,
张志明
人工晶体学报
在不同衬底温度条件下采用RF磁控溅射法在石英玻璃上沉积Al-H共掺杂ZnO薄膜.对所有样品进行晶体结构、表面形貌、电学、光学以及室温光致发光性能分析.结果表明:随着衬底温度的升高,ZnO薄膜的结晶度增加,晶粒增大,薄膜致密度增加;薄膜表面起伏变化减小;同时,电阻率最低达到7.58×10-4Ω·cm,...
关键词:
Al-H共掺杂ZnO
,
光致发光
,
磁控溅射
郭胜利
,
胡跃辉
,
胡克艳
,
陈义川
,
范建彬
,
徐承章
,
童帆
人工晶体学报
在不同溅射压强下,通过射频(RF)磁控溅射在石英玻璃衬底上沉积得到W掺杂ZnO薄膜(WZO).对样品的结晶性能,表面形貌和光学性能进行测试分析,结果表明:在适当溅射压强下,薄膜具有良好的结晶性和光学性能.随着溅射压强的增加,薄膜的结晶性先变好后变差,晶粒尺寸先增大后减小,在1.0 Pa时薄膜的结晶性...
关键词:
溅射压强
,
ZnO薄膜
,
W掺杂
,
光致发光
张效华
,
辛凤
,
胡跃辉
,
杨丰
,
陈义川
人工晶体学报
采用固相反应法合成具有焦绿石立方结构的Bi1.5ZnNb1.507(BZN)陶瓷靶材,采用脉冲激光沉积法在Pt/SiO2/Si(100)基片上制备立方BZN薄膜.研究了沉积氧压的变化对薄膜的结晶性能,微观形貌以及介电性能的影响.结果表明:沉积的BZN薄膜都呈现出立方焦绿石单相结构,但是薄膜的取向随氧...
关键词:
Bi1.5ZnNb1.5O7薄膜
,
脉冲激光沉积
,
微结构
,
介电性能
马德福
,
胡跃辉
,
陈义川
,
刘细妹
,
张志明
,
徐斌
人工晶体学报
采用溶胶-凝胶旋涂法在石英衬底上制备了不同Mg,Sn掺杂比例的ZnO薄膜,研究了不同Mg,Sn比例对ZnO薄膜微观结构、表面形貌和光电性能的影响及其内在机制.结果表明:Mg,Sn掺杂后薄膜仍保持六方纤锌矿结构并沿(002)方向择优生长,掺入2％的Mg后,晶粒有所长大,保持2％ Mg不变,随着Sn的掺...
关键词:
ZnO薄膜
,
Mg,Sn共掺
,
溶胶-凝胶法
,
光电性能
刘细妹
,
胡跃辉
,
陈义川
,
胡克艳
,
徐斌
,
张志明
人工晶体学报
采用溶胶凝胶(Sol-Gel)旋涂法在抛光石英衬底上制备不同厚度Mg-Sn共掺的ZnO薄膜.用XRD、SEM、UV-Vis、PL、FT-IR光谱仪和四探针等对薄膜的微观结构、表面形貌、室温光致发光及光电特性进行表征.薄膜结构分析显示样品均沿c轴高度择优取向,呈六角纤锌矿晶体结构,随着膜厚的增加,薄膜...
关键词:
溶胶凝胶法
,
Mg-Sn共掺ZnO
,
厚度
,
电阻率
,
透过率
张效华
,
辛凤
,
胡跃辉
,
杨丰
,
陈义川
人工晶体学报
以立方焦绿石Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7(BZN)为配方基础,通过掺入过量10％的Bi2O3,形成Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225非化学计量比分子式.采用固相反应法合成具有焦绿石立方结构的Bi1.65Zn1.0Nb1.5O7.225陶瓷,并采用脉冲激光沉积法在Pt/SiO2/Si(...
关键词:
BZN陶瓷
,
BZN薄膜
,
介电性能
陈义川
,
胡跃辉
,
陈俊
,
陈新华
,
马德福
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.10.029
主要研究了氢掺杂氧化锌(ZnO∶H)薄膜的性能,发现随着H2流量比的变化,其主要表现为浅施主掺杂、钝化空位缺陷以及刻蚀等作用.当H2流量比较小时(R≤0.02),样品沿(002)择优向生长,这时H原子主要作为浅施主掺杂,钝化氧空位和取代锌离子,使晶胞体积变小,提高ZnO薄膜的结晶性,同时使得ZnO带...
关键词:
磁控溅射
,
氢掺杂氧化锌薄膜
,
掺杂性能
范建彬
,
胡跃辉
,
陈义川
,
胡克艳
人工晶体学报
采用溶胶凝胶旋涂法,在石英衬底上引入缓冲层制备ZnO∶Sn薄膜.利用四探针电阻率测试仪、X射线衍射仪(XRD)、光致发光(PL)谱仪、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)等测试手段对薄膜的微观结构和光电性能进行表征.结果表明:所制样品均呈现六角纤锌矿晶体结构并沿C轴择优生长,薄膜的结晶质量和光电性能...
关键词:
溶胶凝胶
,
Sn掺杂ZnO薄膜
,
缓冲层
,
光电性能
