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浸渍法VO_2薄膜的相变

陆松伟 , 侯立松 , 干福熹

材料研究学报

本文以VO(i-OC_2H_5)_3为原料采用溶胶-凝胶浸渍法在三种不同基片上制备了凝胶薄膜,通过真空热处理得到了VO_2薄膜。由于VO_2在67℃左右产生热诱导半导体-金属可逆相变,红外区域透过率在加热前后可变化45%,采用红外光谱及X 射线衍射法分析了VO_2薄膜的结构。

关键词: VO_2 , Sol-Gel thin film , phase transition