王钻开
,
陆德仁
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.02.011
研究了硅微机械高 g(g为重力加速度 )加速度传感器的固有频率和阻尼特性对冲击响应的 影响.传感器固有频率低,阻尼小时,冲击加速度的响应波形包含传感器共振波,造成测量干扰. 采用有适当阻尼,固有频率高的双质量块结构高 g加速度传感器,进行接近 2万 g加速度峰值的 一系列落杆冲击实验,都未见共振响应.同样的传感器制作成欠阻尼,进行实验时,发现共振干扰. 该实验所用的传感器芯片面积小,固有频率高,调整该结构的弹性梁厚度,可制作量程为 2× 103g～ 2× 105g的加速度传感器.
关键词:
冲击加速度
,
固有频率
,
阻尼
宗登刚
,
王钻开
,
陆德仁
,
王聪和
,
陈刚
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.02.005
利用高精密纳米压入仪检测微机械悬桥的载荷－挠度曲线,来研究低应力 LPCVD氮化硅薄 膜的力学特性.通过大挠度理论分析,得到考虑了衬底变形对挠度有贡献的微桥挠度解析表达式. 对于在加卸载过程中表现出完全弹性的微桥,利用最小二乘法对其挠度进行了拟合,从而得到杨氏 模量、残余应力和弯曲强度等力学特性参数.低应力 LPCVD氮化硅薄膜的研究结果 :杨氏模量为 (308.4± 24.1) Gpa , 残余应力为 (252.9± 32.4 )Mpa, 弯曲强度为 (6.2± 1.3) Gpa.
关键词:
微机械
,
悬桥
,
LPCVD
,
氮化硅
,
杨氏模量
,
残余应力
,
弯曲强度
黄全平
,
陆德仁
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.03.017
介绍了一种简单而有效的天平方法来检测高量程微机械加速度传感器芯片的静态特性.设计了一种新结构,上面带有压敏电阻,用该方法测量到的静态特性和理论结果比较,两者基本一致,芯片的静态输出特性在测量限20000g(g为重力加速度)内呈直线,非线性为1%左右,灵敏度与理论值在20%的偏差内一致.由于其操作简单、低廉且有较高的分辨率,这种方法适合于平板型高量程压阻式加速度传感器芯片封装前进行抽样检测.
关键词:
静态特性
,
压阻式加速度计
,
薄板
李浩
,
陆德仁
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.010
对分度头检测加速度计静态特性相关的几何物理问题进行了分析,结果表明,传感器在分度头上的安装偏差角和传感器自身固有的横向效应都会影响检测精度.用分度头对加速度计进行静态特性的检测,横向效应包含在测量结果的非线性中.用非线性和横向效应都很小的加速度传感器作为试样,在分度头上人为安装有00、50和150的偏角时,检测到的非线性随偏角的增加而变大,与理论分析一致.利用高分辨分度头寻找能降低悬臂梁压阻式加速度传感器横向效应的基准面,以此基准面封装成的传感器的横向效应和非线性的综合效果小于0.05%.
关键词:
加速度计
,
横向效应
,
非线性
,
静态测量
金虎
,
陆德仁
,
沈绍群
,
鲍敏杭
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.02.006
介绍了一种低量程高线性压阻式微机械加速度传感器的设计、工艺制作和封装 ,还较详细地
介绍了静态和动态特性的测量和结果。为提高灵敏度，传感器采用悬臂梁结构。本文对结构的固有
横向效应进行了计算，结果表明此种结构的三种横向效应主要是由于质量块（岛）质心偏离梁中平面，
沿梁伸展方向（ x向）惯性力分量产生的弯矩所致。提出了调整上下盖板与中间质量块之间的气隙改
善器件频响特性的方法。报道的压阻式微机械加速度传感器量程± 1g(g为重力加速度 )，线性度优
于 0.05％，灵敏度约 1mV/gV，阻尼比 0.7，带宽 110Hz。
关键词:
加速度传感器
,
压阻式
,
横向效应
,
空气阻尼
