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光波导二氧化氮气敏传感元件的研究

玛丽娅·马木提 , 麦麦提依明·马合木提 , 买里克扎提·买合木提 , 阿布力孜·伊米提 , 阿达来提·阿不都热合曼

影像科学与光化学

本文用离子交换法制备K~+交换玻璃光波导元件,并在其表面固定纳米级敏感层酞菁铜(CuPc)薄膜,利用光波导气体检测系统对NO_2气体进行测试.结果表明,该传感元件常温下对NO_2等气体有快速、可逆的响应,并具有重现性好,灵敏度高等特点.

关键词: 酞箐铜薄膜 , 光波导气敏元件 , 二氧化氮气体

Y2O3薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件及其气敏性

米日古丽依明 , 帕提曼·尼扎木丁 , 米日古力·莫合买提 , 阿达来提·阿不都热合曼 , 阿布力孜·伊米提

中国稀土学报

采用溶胶-凝胶法将氧化钇(Y2O3)敏感膜固定在锡掺杂玻璃光波导表面,研制出了Y2O3薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件,并对挥发性有机气体进行了检测.通过XRD测试对敏感薄膜的结构及晶粒尺寸进行了表征.实验结果表明,在室温下Y2O3薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件对二甲苯、氯苯气体有较好的选择性响应,其响应浓度范围为l×10-3 ~1×10-5(V/V).Y2O3薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件具有灵敏度高、成本低、响应速度快、制作工艺简单和可逆性好等优点.

关键词: 光波导气敏元件 , Y2 O3薄膜 , 二甲苯 , 气敏性 , 稀土

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