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Co/Ni多层膜的热处理研究

王艾玲 , 周云松 , 闵子建 , 陈金昌 , 郑鹉

材料导报

采用磁控溅射方法制备了Co/Ni多层膜并做了热处理,测量了系列样品的结构、磁性和磁电阻.受热处理条件等因素影响,多层膜的层间磁性耦合性质发生变化,电阻率下降,而其各向异性磁电阻的数值没有一致的变化趋势.讨论了磁性层织构和界面对多层膜的磁性与各向异性磁电阻效应的影响.

关键词: Co/Ni多层膜 , 各向异性磁电阻 , 磁性 , 织构