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马继奎 , 陈明敬 , 刘莉丽 , 闫英丽 , 张东升 , 史金超
材料导报
研究了多晶硅片表面织构化对太阳能电池电性能的影响,通过调整工艺参数得到腐蚀深度分别为2.9μm、3.8μm、4.6μm的3批样品,采用扫描电子显微镜(SEM)和光谱响应系统表征了表面形貌和反射率,分析了腐蚀深度与后续各制程的关系.对比了绒面反射率及电性能参数,确定了最佳的腐蚀深度.
关键词: 多晶硅 , 酸溶液腐蚀 , 反射率 , 转换效率
