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魏同波 , 王军喜 , 闫建昌 , 李晋闽
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.01.020
近年来短波长紫外LED巨大的应用价值引起了人们的高度关注,成为了全球半导体领域研究和投资的新热点.本文综合分析了AlGaN材料的生长、碎裂、掺杂和欧姆接触等问题,对UVLED的发展历程、技术路线和研究进展进行了详细介绍,并展望了未来发展方向.
关键词: UV-LED , AlGaN , AlInGaN , 综述
