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潘永东 , 钱梦騄 , 侯立 , 刘尔凯
人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1998.02.006
本文介绍了压电薄膜检测的激光超声系统对CVD金刚石膜声速测量的原理及方法.利用反射回波法对二块金刚石膜试样的纵波声速的测量结果为(2.010±0.014)×104m/s,证实了CVD金刚石膜的高声速特性.
关键词: 金刚石膜 , 压电薄膜 , 激光超声 , 化学气相沉积
