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退火和老化气氛对铝酸钙玻璃上SiO_2薄膜性能影响

赵华 , 金扬利 , 祖成奎 , 韩滨

硅酸盐通报

将用IAD法在CAB玻璃基体上沉积的SiO_2薄膜在600℃条件下部分进行退火,然后在不同湿度气氛中进行老化处理.利用分光光度计、纳米硬度计和扫描电镜研究了退火处理及不同老化气氛对SiO_2薄膜的光谱性能、硬度及摩擦性能的影响.实验结果如下:虽然退火和老化方式影响SiO_2薄膜的结构,但不同处理的S...

关键词: 退火 , SiO_2薄膜 , 光学性能 , 力学性能 , 扫描电镜