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超高硬度纳米复合薄膜Ti-Si-N结构的研究进展

任元 , 刘学杰 , 谭心 , 郭金鸽 , 孙士阳

材料导报

综述了Ti-Si-N超硬纳米复合薄膜结构形式的研究进展.介绍了研究者对Si原子在Ti-Si-N中形成的晶界是否为晶态的认识与研究,阐述了Si原子在Ti-Si-N中所形成的界面结构形式的研究现状以及Ti-Si-N薄膜沉积过程中的形成机制,并展望了Ti-Si-N超硬纳米复合薄膜今后的研究方向.

关键词: Ti-Si-N薄膜 , 纳米复合结构 , 界面结构