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TFT制程中高厚度ITO残留因素的研究

王灿 , 陈宁 , 刘英伟 , 赵磊 , 薛大鹏 , 杜建华 , 郭炜 , 王路

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163103.0276

氧化铟锡(ITO)是薄膜晶体管工艺中最常用的透明导电薄膜,随着OLED技术的发展,ITO作为透明阳极材料也被广泛应用.在高厚度(尤其是大于70 nm)非晶ITO工艺过程中,由于多种因素的影响,很容易产生残留,发生残留后会严重影响产品质量和项目进度.本文通过多次实验测试,综合多种不同厚度,尤其是针对高厚度非晶ITO,分析了TFT制程中影响残留的多种因素,考察重点因素及影响规律,有效地修正工艺条件,为之后的项目和生产过程提供了很好的参考价值.

关键词: 薄膜晶体管 , 非晶氧化铟锡 , 残留 , 成膜 , 刻蚀

反复锻压剧烈塑性变形的有限元分析

郭炜 , 王德 , 付远 , 陆德平 , 刘克明 , 王渠东 , 张利

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2017.08.029

采用Deform-3D有限元软件模拟了反复锻压剧烈塑性变形,分析了加工过程中试样的流动、温度、应力以及应变分布.研究发现锻压过程中各部分质点流动的速度大小和方向都不相同.随着起始锻压温度的升高,试样同一部位温升数值逐渐降低.试样内大部分区域在3个方向都承受压应力,有利于细化显微组织的剪切变形始终存在.第一道次锻压完成后试样中应变分布很不均匀,随着加工道次的增加,累积应变及其分布均匀程度都不断提高.

关键词: 反复锻压 , 剧烈塑性变形 , 模拟 , 有限元分析

铝合金牺牲阳极材料的研究现状

郭炜 , 文九巴 , 马景灵 , 焦孟旺

腐蚀与防护

根据实际应用,讨论了合金元素In、Zn、Ga、RE、Hg、Mg、Sn、Ti、Bi、Se和金属氧化物ZnO、IrO2、RuO2对铝合金牺牲阳极电化学性能的影响.综述了固溶处理和退火对阳极组织和电流效率的作用,简述了合金显微组织和阳极性能的关系,对铝合金阳极的发展方向做了展望.

关键词: 铝合金 , 牺牲阳极 , 合金元素 , 电流效率

Ka波段微波衰减陶瓷的研制

张永清 , 阴生毅 , 郭炜 , 朱敏 , 刘红军

人工晶体学报

为研制出适用于Ka波段(26.5~40GHz)微波管的高性能微波衰减陶瓷,在Al2O3-TiO2微波衰减陶瓷的基础上,开展了添加钨粉、改变烧结方法对材料电磁参数和热导率影响的研究.结果表明,用热压烧结方式并添加20wt%粒度为4~5 μm的钨粉,可制造出综合性能良好的Ka波段专用微波衰减陶瓷.这一衰减陶瓷的典型性能为,介电常数13.90~21.83,损耗角正切0.20 ~1.02,热导率2.92 W/m·K.

关键词: 微波衰减陶瓷 , Al2O3-TiO2 , 热压烧结 , 热导率

大塑性变形制备超细晶储氢材料的研究进展

郭炜 , 王渠东

材料导报

分别从机械合金化、等径角挤压、累积叠轧、往复挤压和高压扭转等制备技术出发介绍了大塑性变形制备超细晶储氢材料的研究进展,认为块体机械合金化技术在制备储氢材料方面比传统球磨技术更具优势,提出弄清纳米材料的储氢机理是大幅度提高吸放氢性能的关键,开发储氢性能优异材料的同时要兼顾其力学性能.

关键词: 大塑性变形 , 超细晶 , 储氢材料 , 氢化

大塑性变形制备铝、镁基颗粒增强复合材料的研究进展

廖文骏 , 王渠东 , 郭炜 , 张利 , 周浩

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.09.006

综述了目前大塑性变形(SPD)制备铝、镁基颗粒增强复合材料工艺的研究进展;总结了在SPD过程中复合材料增强颗粒的细化、再分布及基体合金晶粒的超细化等组织演变特点;分析了经SPD加工后铝、镁基颗粒增强复合材料的强韧化机制以及其力学性能的提升空间.最后指出了SPD制备颗粒增强复合材料尚存在的问题及可能的发展方向.

关键词: 大塑性变形 , 镁合金 , 铝合金 , 颗粒增强复合材料 , 超细晶

湿化学法ANNT纳米前驱体的反应机理与微观分析

李玲霞 , 郭炜 , 吴霞宛 , 王洪儒 , 张志萍

无机材料学报

利用柠檬酸盐法制备了(Ag1-xNax)(Nb1-xTax)O3(简称ANNT)纳米粉体材料,通过TEM分析可观察到其颗粒度<50nm,且团聚较小.论文对柠檬酸盐法的反应机理进行了深入地探讨,分析了不同烧结温度下的显微结构变化,证实ANNT系统可在1040-1060℃范围内致密化.XRD分析结果表明系统中所生成的主晶相为ANNT.

关键词: 柠檬酸盐法 , (Ag1-xNax)(Nb1-xTax)O3 , nanomaterials

合金元素Mn对铝合金阳极组织与性能的影响

马景灵 , 文九巴 , 焦孟旺 , 郭炜

腐蚀与防护

通过改变锰元素的含量(0%,0.5% ,0.8%,1.2%),观察Al-5%Zn-0.03%In-1%Mg-0.05%Ti-Mn合金的组织,测试合金的电化学性能,研究锰对该合金组织与电化学性能的影响.结果表明:适量的锰能细化铝合金的晶粒,减弱杂质铁的有害作用,改善溶解均匀性,保证了铝合金较好的电化学性能.含0.5% Mn的铝合金晶粒细小,有适量的析出相,电流效率达90.3%,电容量达2577 A·h/kg,且均匀溶解,具有比较好的综合性能.

关键词: 铝合金 , Mn , 组织 , 电化学性能

Al-Zn-Bi系合金在NaCl溶液中的电化学性能研究

文九巴 , 郭炜 , 赵胜利 , 马景灵 , 焦孟旺

功能材料

采用CHI660C电化学工作站测试了Al-5Zn-0.5Bi和Al-5Zn-0.5Bi-0.06Sn合金在3%NaCl溶液中的极化曲线和电化学阻抗谱(EIS),考察了合金的电化学性能.结果表明,Al-5Zn-0.5Bi中添加0.06%的Sn元素后,自腐蚀电位Ecorr升高0.017V,耐腐蚀性能有所增强.等效电路RS(RPC)(QRD(RaL))较好地拟合了Al-5Zn-0.5Bi系合金在3%NaCl溶液中的EIS谱,基本反映了该铝合金的电化学腐蚀过程.随着合金在3%NaCl溶液中浸泡时间的延长,腐蚀产物膜增厚并部分脱落,主要形成点蚀.另外,腐蚀产物更容易在含Sn合金氧化膜缺陷处形成,阻碍了腐蚀介质中Cl-向其内部扩散,从而减缓了点蚀和自腐蚀速度,有助于提高该合金材料作为牺牲阳极的电流效率.

关键词: 铝合金 , 极化曲线 , 电化学阻抗谱 , 腐蚀机理

厚膜EMI滤波器用X7R介质瓷料的研究

李玲霞 , 郭炜 , 吴霞宛 , 王洪儒 , 张志萍 , 余昊明

稀有金属材料与工程

利用先驱体NiNb2O6与MnNb2O6掺杂法改性BaTiO3系统.由于2种先驱体可以有效地起到展宽与移峰效应,使系统居里峰在室温附近取得最大值,在1 290℃烧结时介电常数达到5 000以上,容量变化率△C/C≤±15%;在系统中加入适量助熔剂可以实现中温烧结(1 150℃),介电常数大于3 600,容量变化率△dC≤±12%,满足X7R特性要求,可用于厚膜EMI滤波介质瓷料的制备.

关键词: 先驱体 , NiNb2O6 , MnNb2O6 , EMI , 滤波

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