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吴大维 , 张志宏 , 罗海林 , 郭怀喜 , 范湘军
材料研究学报
采用直流反应磁控溅射法淀积ZrN薄膜发现在(100)晶向硅片上ZrN薄膜按(111)晶向生长,控制生长工艺可以获得ZrN(111)晶向的外延生长膜.
关键词: ZrN薄膜 , null , null , null
