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TiN薄膜表面离子注入层微观结构的分析研究

郭德亮 , 陶冶 , 胡智杰 , 梁旺胜

物理测试

利用磁过滤阴极电弧镀分别在硬质合金和高速钢基体上沉积厚度约2～3μm的TiN薄膜,并用MEVVA源离子注入装置对TiN薄膜注入金属离子V+和Nb+.应用北京同步辐射装置(BSRF)的同步辐射光源,采用掠入射X射线衍射(GIXRD)的方法对TiN薄膜表面离子注入层的微观结构进行了分析研究.结果表明:未...

关键词: 同步辐射 , 掠入射X射线衍射 , 离子注入 , TiN薄膜 , 微观结构