郭军霞
,
蔡珣
,
陈秋龙
材料保护
doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2003.09.005
采用非平衡磁控溅射与等离子源离子注入(PSII)的混合技术,在1Cr18Ni9Ti不锈钢上制备N/Ti,N/TiN/C/DLC多层膜,研究其结构和微动磨损性能,并与N注入层比较.结果表明,N注入层内形成了CrN和Fe3N等氮化物相;多层膜内形成了TiN,Ti2N和CrN等化合物相.PSII技术能够提高1Cr18Ni9Ti不锈钢的表面硬度,N注入层的硬度约为基体硬度的2.5倍,DLC多层膜的硬度约为基体硬度的4倍.N注入层和DLC多层膜都能够提高 1Cr18Ni9Ti的抗微动磨损性,虽然DLC多层膜比N注入层薄,但其抗微动磨损性能更好.
关键词:
微动磨损
,
等离子体源离子注入
,
多层膜
,
不锈钢
