郭俊婷
,
徐阳
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2015.05.024
采用卷绕型磁控溅射设备在涤纶(PET)针刺毡表面沉积了纳米结构 Cu 薄膜,利用 X 射线衍射仪(XRD)对薄膜的组分和结晶状态进行了分析,用原子力显微镜(AFM)分析了不同溅射工艺参数对纳米Cu薄膜微观结构和颗粒直径的影响,并较为系统地分析了溅射功率、工作气压和沉积时间对镀铜PET针刺毡导电性能的影响。结果表明,增大溅射功率,镀铜PET针刺毡导电性和 Cu 膜均匀性变好,但应控制在6 kW以下；随工作气压的增大,薄膜方块电阻先减小后增大,薄膜厚度更加均匀；随着沉积时间的延长,Cu粒子的直径增大,Cu膜的导电性和均匀性明显变好。
关键词:
卷绕型磁控溅射
,
纳米结构Cu薄膜
,
X射线衍射仪
,
原子力显微镜(AFM)
,
导电性能
郭俊婷
,
徐阳
材料科学与工程学报
采用射频磁控溅射技术在PET针刺毡表面沉积了纳米结构Cu薄膜,试图利用等离子体预处理的方法来改善薄膜与基材之间的结合牢度.采用扫描电子显微镜(SEM)对低温等离子体预处理前后基材表面形貌的变化进行了分析,同时利用静态液滴形状观察法和接触角测试分析了等离子体处理前后样品的润湿性能.采用X射线能谱仪(EDX)对纳米结构Cu薄膜进行了元素分布及定量分析.结合抗静电性能测试,采用冷热循环试验研究了Ar和O2等离子体预处理对Cu薄膜结合牢度的影响.研究发现,低温等离子体预处理不仅能改善沉积Cu薄膜PET针刺毡的抗静电性能,还能提高膜-基结合牢度和基材的润湿性能.用O2等离子体处理时,膜-基结合牢度和润湿性能较好.
关键词:
等离子体处理
,
纳米结构铜薄膜
,
涤纶针刺毡
,
结合牢度
,
接触角
