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电解液微弧放电制备氮化铝陶瓷膜研究

何翔 , 郝英杰

兵器材料科学与工程 doi:33-1331/TJ.20110906.2314.001

用电解液等离子体微弧放电工艺,在纯铝基片上制备陶瓷改性层.选择CO(NH2)2电解液体系,添加(NaPO3)6辅助放电.用XRD分析不同CO(NH2)2浓度的电解液情况下改性层的物相结构,用XPS研究处理后样品表面的化学成分和结合能,用SEM观察了膜层表面形貌和厚度.结果表明,CO(NH2)2电解液体系中进行等离子体微弧放电,将在纯Al表面得到多晶AlN陶瓷膜改性层.

关键词: 电解液 , 微弧放电 , 氮化铝 , 表面分析

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