郝晓涛
,
张德恒
,
马瑾
,
杨莺歌
,
王卿璞
,
程传福
,
田茂华
,
马洪磊
功能材料
回顾和评述了柔性衬底氧化物透明导电膜(包括锡掺杂的三氧化二ITO薄膜、铝掺杂的氧化锌AZO薄膜等)的研究进展情况.报道了在柔性衬底上制备的ITO膜、ZnO膜的光电性质对衬底种类、制备工艺以及制备参数的依赖关系,给出了在此领域内应进一步进行的工作.
关键词:
柔性衬底
,
氧化物半导体
,
透明导电膜
郝晓涛
,
马瑾
,
田茂华
,
王卿璞
,
马洪磊
,
叶丽娜
,
陈峰
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.01.003
室温下采用射频磁控溅射法在有机薄膜-聚丙烯己二酯(polypropyleneadipate,PPA)衬底上制备出了ZnO:Al(AZO)透明导电膜.其它制备参数保持不变的条件下通过改变淀积时间得到厚度不同的薄膜,并对不同厚度AZO薄膜的结构特性、光学特性和电学特性进行了研究.
关键词:
透明导电膜
,
AZO薄膜
,
柔性衬底
张士勇
,
马瑾
,
刘晓梅
,
马洪磊
,
郝晓涛
功能材料
采用射频磁控溅射法在聚丙烯己二酯有机薄膜(polypropylene adipate, PPA)衬底上低温制备出锑掺杂的氧化锡(SnO2∶Sb)透明导电膜.研究了薄膜的厚度效应对SnO2∶Sb薄膜的结构、光学和电学特性的影响.制备薄膜为多晶膜,并且保持了纯二氧化锡的金红石结构.载流子浓度和迁移率随着薄膜厚度的增加而增大,电阻率随着薄膜厚度的增加而减小,最低电阻率为 2×10-3Ω*cm.
关键词:
有机衬底
,
SnO2∶Sb透明导电膜
,
光电性质
郝晓涛
,
马瑾
,
马洪磊
,
杨莺歌
,
王卿璞
,
黄树来
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.03.003
铝掺杂的氧化锌(ZnO∶Al)透明导电膜是采用射频磁控溅射法在有机衬底(Polypro-pylene adipate, PPA)和Corning 7059玻璃上制备的.详细研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.制备的ZnO∶Al薄膜具有(002)面的单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,性能优良的薄膜电阻率在两种衬底上分别为2.55×10-3Ω·cm和1.89×10-3Ω·cm,平均透射率达到了80%和85%.
关键词:
ZnO∶Al透明导电膜
,
薄膜厚度
,
柔性衬底
