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纳米CeO2悬浮液的流变性能研究

郑国琴 , 沈志刚 , 曾晓飞 , 陈建峰

硅酸盐通报

在化学机械抛光过程中,抛光液的流变性能起到至关重要的作用.本文利用Haake流变仪研究了水基纳米CeO2悬浮液在不同pH值、CeO2颗粒浓度、温度、中性电解质浓度下的流变性能.研究结果表明,随着zeta电位减小,悬浮液表观粘度增大,体系逐渐转变为剪切变稀的非牛顿流体.悬浮液中CeO2颗粒浓度低于17...

关键词: 纳米CeO2 , 流变性 , 抛光浆料