郑华均
,
黄建国
,
马淳安
,
赵峰鸣
,
朱英红
功能材料
采用氟化钨(WF6)和甲烷(CH4)为前驱体,采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备具有纳米结构的碳化钨薄膜.采用SEM、XRD、EDS等方法表征了碳化钨薄膜的形貌、晶体结构和化学组成.通过表征,表明在前驱体混合气体中的甲烷与氟化钨气体的流量比(碳钨比)为20、基底温度为800℃的条件下得到的碳化钨薄膜是由直径为20～35nm的圆球状纳米晶构成.通过分析影响薄膜的晶体结构、化学组成的因素后,认为要得到具有纳米晶结构的碳化钨薄膜,主要应控制前驱体气体中的碳钨比以及基底温度.
关键词:
碳化钨
,
纳米结构薄膜
,
等离子增强化学气相沉积
郑华均
,
马淳安
,
张荣强
,
陈益进
电镀与涂饰
doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2004.01.005
研究了镀液温度及pH值对Fe-Co-Ni三元合金沉积及其性能的影响,并用X射线衍射分析了阴极电位对镀层性能的影响.结构表明,当加入一定有机添加剂、镀液温度为50～60 ℃、pH值3.0～4.5及阴极电位控制在-1.2 V,得到的三元合金光亮、耐蚀性能好、显微硬度高,其综合性能接近硬铬镀层.
关键词:
电沉积
,
Fe-Co-Ni合金
,
X射线衍射
,
耐腐蚀性
,
显微硬度
郑华均
,
王伟
,
黄建国
,
马淳安
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2006.00481
采用等离子体增强化学气相沉积法制备了具有纳米结构的碳化钨薄膜, 采用XRD、EDS、SEM方法表征了薄膜的表面形貌、化学组成和物相结构. 这种碳化钨纳米晶薄膜具有巨大的电化学比表面积、很好的电催化活性和电化学稳定性. 通过测试和计算表明, 几何面积为1cm2碳化钨薄膜/泡沫镍电极、碳化钨薄膜/镍电极的电化学比表面积分别为83.21和64.13cm2; 该薄膜电极材料的a值为0.422～0.452V, 接近低超电势材料; 析氢交换电流密度为4.02～4.22×10-4A/cm2;
当超电势为263mV时, 其析氢反应的活化能为45.62～45.77kJ/mol.
关键词:
等离子体增强化学气相沉积
,
nano-crystalline tungsten carbide thin film
,
electrocatalysis
,
hydrogen evolution
郑华均
,
马淳安
,
黄建国
,
张荣强
,
陈益进
材料保护
doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2004.06.007
Fe-Co-Ni合金镀层的硬度、耐蚀性和表面光亮度接近硬铬镀层,一定程度上可代替铬镀层以减少环境污染.用恒电位法电沉积Fe-Co-Ni三元合金,并运用X射线衍射能谱、扫描电镜等方法观察镀层的形貌,同时对镀层的失重率、显微硬度也进行了测定,分析了有机添加剂、温度、pH值和阴极控制电位等工艺因素对电沉积的影响.结果表明:在一定量的有机添加剂下,若镀液温度为50～60℃,pH值为3.0～4.5,阴极电位控制在-1.2 V(vs SCE)时,即能得到光亮、耐腐蚀性好、显微硬度高的Fe-Co-Ni三元合金镀层,其综合性能接近硬铬镀层.
关键词:
电沉积
,
Fe-Co-Ni合金
,
工艺
郑华均
,
王伟
,
黄建国
,
马淳安
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.02.036
采用等离子体增强化学气相沉积法制备了具有纳米结构的碳化钨薄膜,采用XRD、EDS、SEM方法表征了薄膜的表面形貌、化学组成和物相结构.这种碳化钨纳米晶薄膜具有巨大的电化学比表面积、很好的电催化活性和电化学稳定性.通过测试和计算表明,几何面积为1cm2碳化钨薄膜/泡沫镍电极、碳化钨薄膜/镍电极的电化学比表面积分别为83.21和64.13cm2;该薄膜电极材料的a值为0.422～0.452V,接近低超电势材料;析氢交换电流密度为4.02～4.22×10-4A/cm2;当超电势为263mV时,其析氢反应的活化能为45.62～45.77kJ/mol.
关键词:
等离子体增强化学气相沉积
,
碳化钨纳米晶薄膜
,
电催化
,
氢析出反应
