许扬
,
赵一谦
,
李剑侠
,
郑伟民
,
田炜
,
丁积军
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.03.040
要求不断增大晶棒直径、不断提高晶体质量的晶圆市场,推动我国直拉单晶炉产品系列出现过三代更替,与此对应,产品赖以存在的技术平台也经历了三个阶段的演进.第四代产品研发需要在以往技术积累基础上,在炉室材料、炉体结构、焊接工艺、机械传动和电气控制、计算机智能控制、磁场发生装置和热场材料等方面进行新一轮技术创新.
关键词:
单晶炉
,
晶体生长
,
产品研发
,
技术平台
