吴远大
,
张乐天
,
邢华
,
韦占雄
,
郑伟
,
刘国范
,
张玉书
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.04.034
采用火焰水解法(FHD)在Si 基上淀积SiO2预制材料,然后在真空中/空气气氛中高温处理(1380℃),制得玻璃化的SiO2 膜材料;该材料膜厚适中(10～30μm)、平整度好、光滑透明,适合制作单模、多模列阵平面波导光栅.并利用XRD、SEM、台阶仪等仪器对SiO2 膜进行了测试分析.
关键词:
火焰水解法(FHD)
,
波导
,
玻璃态SiO2
