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冶金级硅料在高温处理中的金属杂质表面偏聚

辛超 , 龚洪勇 , 尹传强 , 周浪

材料科学与工程学报

实验研究了经酸洗除杂的冶金级硅粉在空气中进行高温处理以再次造成表面杂质偏聚,然后继以二次酸洗去吸附除杂的方法。结果表明这种方法因其硅粉表面形成的硅氧化物进一步提高了金属杂质表面扩散偏聚的能力,比保护气氛条件下的高温处理有更好的偏聚效果,二次酸洗后金属杂质含量进一步降低。

关键词: 冶金级硅 , 表面偏聚 , 高温处理 , 酸洗

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