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氧等离子体离子注入Ti6A14V表面强化研究

辛国强 , 杨学勤 , 董楠 , 田修波 , 杨士勤

稀有金属材料与工程

采用PⅢ对Ti6A14V合金进行表面处理,温度控制在300～400℃之间,利用小掠射角X射线衍射技术(GXRD)、扫描电镜(SEM)研究不同工艺条件下的相结构和表面形貌,并且测量处理后试样的显微硬度、摩擦磨损性能.结果表明:试样表面形成了金红石相,且试样表面变得粗糙;在390℃处理后的试样硬度提高27%,抗磨损性能提高.

关键词: 等离子体浸没离子注入(PⅢ) , Ti6A14V , 氧等离子体