杜晓晴
,
温志渝
,
刘海涛
,
赵釜
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.013
设计了一种基于激光扫描与光学成像技术的测试方法来实现一维扭转式微镜的偏转角特性测试.该方法采用激光作为光源,利用微镜自身的光学扫描特性以及人眼的存储记忆效应,获得激光点光源在微镜静止与高频工作下在成像屏上的像点坐标,从而可以计算出微镜在一定驱动电压下的偏转角大小.误差分析表明该方法的平均测试误差±0...
关键词:
微镜
,
偏转角
,
激光扫描
,
测试
,
误差分析
