欢迎登录材料期刊网

材料期刊网

高级检索

  • 论文(2)
  • 图书()
  • 专利()
  • 新闻()

硅超薄可动悬空薄膜的弹性模量测试分析

赵林林 , 徐晨 , 霍文晓 , 赵慧 , 杨道虹 , 沈光地

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.024

利用纳米硬度计通过对超薄悬空薄膜的弯曲试验来测定硅可动悬空薄膜的弹性模量.硅悬空薄膜采用各向异性湿法腐蚀自停止技术制备.纳米硬度计测试方法精确测量了硅悬空薄膜的弯曲形变.试验研究表明,尺寸为2mm×1μm的硅悬空薄膜的弹性模量平均值为152GPa,差异为3.9%-6.8%.

关键词: 微电子机械系统 , 振动薄膜 , 杨氏模量 , 纳米硬度计

2,2,6,6-四甲基哌啶氧自由基/Ca(ClO)2催化氧化甲基葡糖苷制备葡醛酸

马彦 , 赵林林 , 刘华庆 , 袁华 , 吴元欣

应用化学 doi:10.3724/SP.J.1095.2012.00266

采用2,2,6,6-四甲基哌啶氧自由基/Ca(ClO)2体系选择氧化甲基葡萄糖苷(简称甲苷)合成了葡萄糖甲苷酸盐,再用硫酸酸解葡萄糖甲苷酸盐,得到葡萄糖醛酸和副产物硫酸钙.考察了氧化工艺条件对葡萄糖醛酸收率的影响;用pH计监控反应过程,反应中间体和终产物用UV和HPLC检测.结果表明,该体系对甲苷伯羟基的氧化具有较好的催化活性和反应选择性,葡萄糖醛酸收率达到92%,且金属离子易于去除.和传统的淀粉HNO3氧化法工艺相比,该方法具有资源节约、环境友好的特点.

关键词: 四甲基哌啶氧自由基/Ca(ClO)2催化体系 , 甲基葡萄糖苷 , 葡萄糖醛酸 , 选择氧化

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词