赵松楠
,
吕海兵
,
晏良宏
,
袁晓东
,
郑万国
材料导报
为提高三倍频光学元件的表面损伤阈值,采用了不同方式对石英基片进行酸蚀刻,利用原子力显微镜观测了基片蚀刻前后的表面微观形貌,并在激光损伤测量装置上进行了R:1方式的阈值测试,比较分析了蚀刻前后基片激光损伤阈值和表面形貌的变化,并比较了不同抛光质量石英基片蚀刻效果的差异.通过实验研究,总结了不同蚀刻方式的优缺点,研究表明酸蚀刻法可以有效提高石英基片激光损伤阈值.
关键词:
激光损伤阈值
,
湿化学蚀刻
,
石英基片
,
表面形貌
王姣
,
唐先忠
,
赵松楠
,
李元勋
材料导报
光敏苯并环丁烯(BCB)以其优良的电特性、极低的吸水率以及能够大大简化器件制造工艺等优点成为微电子领域特别是用于多芯片组件(MCM)最理想的绝缘介质材料.介绍了目前光敏BCB的研究现状及应用情况,分析了两种常用的光敏BCB的结构和合成方法,并提出了一种新型光敏BCB的设计思路.
关键词:
光敏
,
BCB
,
合成
,
分子设计
肖波
,
赵松楠
,
张欣向
,
江波
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2012.12095
设计了以融石英玻璃为基体的在三个特定波段有超高透过率的双层增透膜. 以正硅酸乙酯为前驱体, 盐酸、氨水为催化剂, 采用溶胶–凝胶法分别制备得到酸性SiO2溶胶和碱性SiO2溶胶, 将酸性SiO2溶胶和碱性SiO2溶胶按照一定比例混合得到复合溶胶, 复合溶胶按照一定比例配制可得到折射率在1.23~1.42之间的SiO2膜层. 通过聚氧化丙烯丙三醇醚对SiO2溶胶进行改性, 可制备折射率为1.17低折射率膜层. 以上述复合溶胶和改性溶胶为基础, 采用提拉镀膜法在融石英玻璃上成功镀制了具有不同折射率的SiO2双层薄膜. 实验结果表明: 这种双层增透膜在351、527、1053 nm处的透过率分别可以达到99.7%、99.1%、98.03%, 在饱和水汽条件下存放90 d后峰值透过率基本没有下降. 这种新型的具有宽频增透效果的双层增透膜在强激光领域具有重要的应用价值.
关键词:
溶胶–凝胶法; 增透膜; 复合溶胶; 宽频
