欢迎登录材料期刊网
赵明涛 , 张艳飞 , 赵斌 , 杨俊和
材料导报
介绍了超临界流体沉积技术的基本原理及其沉积过程中的影响因素,综述了国内外关于超临界流体沉积技术制备金属、合金及氧化物薄膜材料的研究进展,并展望了今后的研究趋势.
关键词: 超临界流体 , 沉积 , 二氧化碳 , 薄膜
