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SrTiO₃(111)衬底上KTa_0.65Nb_0.35O₃薄膜的取向生长研究

王世敏 , 王龙海 , 张刚升 , 赵建洪 , 张端明 , 李佐宜 , 章天金

无机材料学报

以乙酸钾、乙醇钽、乙醇铌为前驱体，在SrTiO₃（111）衬底上取向生长了KTa_0.65Nb_0.35O₃薄膜.通过DTA-TG分析，确定了预烧工艺，发现钙钛矿结构KTN在高温（＞950℃）下可分解，产生缺钾中间相K₂Ta₄O₁₁．单层凝胶膜预热处理（＞450℃），多层覆盖，慢速升降温（1～2℃／min），750℃保温2h，可得到晶粒大小分布均匀，平均直径约0．2μm、致密的薄膜．升高温度、延长时间，晶粒长大，甚至团聚，产生气孔、裂纹，烧结温度应控制在950℃以下．

关键词: 钽铌酸钾薄膜 , null , null

MF(I)S结构设计对硅基铁电薄膜系统C-V特性的影响

于军 , 董晓敏 , 赵建洪

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.04.017

关键词: