赵封林
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胡昌义
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郑旭
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祁小红
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蔡宏中
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魏燕
稀有金属材料与工程
利用五氯化铼热分解反应,采用冷壁式现场氯化化学气相法在钼基体沉积铼涂层,分析不同沉积温度对铼涂层的物相组成、沉积规律、表面形貌、密度和硬度的影响.实验结果表明:沉积所得均为纯铼涂层,晶粒生长方向均以(002)晶面为主;随着沉积温度的上升,铼涂层的沉积速率和沉积效率大幅提升,表面形貌由复杂多面体态变为六棱锥状;涂层组织致密,相对密度最高可达99.9％,维氏硬度随沉积温度升高而升高,最高达6100 MPa.
关键词:
铼
,
化学气相沉积
,
沉积速率
,
表面形貌
,
密度
