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Pyrex玻璃/铝多层阳极键合界面结构与力学分析

鲁晓莹 , 刘翠荣 , 孟庆森 , 杨振宇 , 赵亚溥

功能材料

采用公共阳极法实现了Pyrex玻璃与铝多层晶片的静电键合,对玻璃/铝/玻璃阳极接舍界面的组织结构及其连接机理和力学特征进行了重点研究.分别利用微拉伸测试设备和ANSYS软件分析了连接区的力学性能和残余应力分布特征.分析认为键合区由玻璃一过渡层一铝组成,过渡层为Al2O3-SiO2复合氧化物.玻璃/铝界面的微观组织和元素分布均以铝为对称轴呈对称分布.在玻璃/铝/玻璃多层连接区,键合界面附近的残余应力和应变呈对称分布,多层结构的对称性有利于缓解接头应变和应力,表明应用公共阳极法可实现多层玻璃/铝/玻璃的良好键合.

关键词: 阳极键合 , 铝 , Pyrex玻璃 , 力学特征 , MEMS

长链羧酸单分子层膜的制备和性能

任嗣利 , 杨生荣 , 王博 , 赵亚溥 , 刘维民

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2002.01.010

首次在涂敷PEI的玻璃表面上制备了癸酸及全氟癸酸的单分子层膜.研究了成膜机理及摩擦特性.结果表明.脱水剂DCCD促进了癸酸或全氟癸酸与PEI酰胺化的反应.导致两种羧酸在PEI表面产生了靠化学键(酰胺键)连接的稳定的单分子层膜.摩擦、磨损实验表明.单分子层有机膜的摩擦特性受膜的组成、表面能及有序性和堆积密度的重要影响.表面能越低.有序性和堆积密度越高.摩擦系数越低与碳氢化合物相比.碳氟化合物形成的有序膜具有更高的强度和抗磨性能

关键词: 超薄膜 , 摩擦特性 , 脂肪酸 , 聚乙烯亚胺

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