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钛表面气体氮化的工艺研究

贾翎 , 夏志华

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.04.013

研究了氮化温度、氮化时间、氮气压力和流量等因素对钛氮化反应的影响,确定了钛表面气体氮化的工艺参数, 并对氮化覆层的相组成及各项性能进行了研究.

关键词: 钛 , 表面氮化 , 氮化钛