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用Zn掺杂和热处理改善SnS薄膜的电学特性

贾影 , 李健 , 闫君

功能材料

用质量比为1％∶0.2％(质量分数)的Sn、S混合粉末在玻璃衬底上热蒸发沉积SnS薄膜,氮气保护下对薄膜进行350℃、40min热处理后,得到简单正交晶系SnS多晶薄膜,薄膜的电阻率为103 Ω·cm,选择2％和4％(质量分数)的Zn掺杂来改善SnS薄膜的导电性.研究表明,SnS∶Zn薄膜最有效的热...

关键词: 热蒸发 , 热处理 , SnS薄膜 , Zn掺杂 , 电学特性