贺洁
,
辛煜
,
叶超
,
宁兆元
,
孙钢
功能材料
非晶碳化硅薄膜的结构可调制性及化学稳定性使它可用作超低k多孔介电薄膜的扩散阻挡层.主要改变了SiH4(80%Ar稀释)和CH4气体流量比R{R=[CH4]/([CH4]+[SiH4])},使用微波电子回旋共振化学气相沉积法制备了非化学计量比的非晶碳化硅薄膜(a-Si1-xCx∶H).薄膜沉积过程中放电等离子体的各基团行为由等离子体的发射光谱监测,而薄膜的结构与性能则由傅立叶变换红外光谱、紫外可见光谱等来表征.结果表明,在等离子体发射光谱中H、CH谱线强度随CH4流量的增加而增强,而SiH谱线强度则呈现相反的变化趋势.红外结构表明随着气体流量比R的增加,薄膜由富硅态向富碳态转变,薄膜结构的转变是薄膜光学带隙及其介电常数变化的根本原因.
关键词:
微波电子回旋共振等离子体
,
非晶碳化硅红外光谱
,
介电常数
杨盛春
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白友明
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贺洁
,
何丽仙
硅酸盐通报
以有机插层膨润土、淀粉和丙烯酸为原料,N,N'-亚甲基双丙烯酰胺为交联剂制备了一种新型网络凝胶吸附剂.通过红外光谱(FT-IR)、X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对凝胶结构进行了表征.研究了吸附剂对亚甲基蓝的吸附行为,考察了pH值、吸附时间和初始浓度等因素对吸附剂吸附性能的影响,并用不同等温方程对吸附数据进行了拟合.结果表明Skip等温模型的拟合效果更好,吸附剂在26℃,pH =6时对亚甲基蓝的最大量论吸附量为341 mg/g.再生实验表明凝胶吸附剂可多次回收利用.
关键词:
有机膨润土
,
凝胶
,
亚甲基蓝
,
吸附
,
再生
