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退火温度对sol-gel制备的ZnO薄膜的结构影响

谷坤明 , 汤皎宁 , 李均钦 , 杨钦鹏 , 李翠华 ,

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.03.023

采用sol-gel旋涂法在抛光硅<111>晶面生长了高度C轴取向的ZnO薄膜.DSC以及XRD测试结果显示此溶胶系统的最佳退火温度为450℃左右,更高的退火温度将对薄膜的择优取向产生不利的影响.SEM显示薄膜表面致密、均匀、光滑,组成薄膜的颗粒尺寸在50~100nm,并显示出良好的C轴择优取向.

关键词: ZnO薄膜 , 溶胶-凝胶法 , 热处理

厚度对DLC薄膜内应力的影响研究

谷坤明 , 吕乐阳 , 毛斐 , 虞烈 , 汤皎宁

功能材料

采用ECR微波等离子体增强化学气相沉积的方法于C1H2/H2/Ar2等离子环境中在单晶Si(111)晶面上制备了不同厚度的DLC膜样品,研究了薄膜的厚度随沉积时间的变化及薄膜的硬度、内应力随厚度的变化关系.结果表明,在沉积时间变化范围内,厚度与沉积时间基本呈线性关系,沉积速率可达80nm/min;制备态样品存在的内应力先随厚度增加而增加,当薄膜内应力超过某临界值时将通过表面崩裂达到应力松弛效果,XRD测得基底Si(111)峰位偏移先随厚度增加而增加,随后变化趋于平缓,表明薄膜表面崩裂后内应力维持在一定水平,但薄膜的硬度测量值受到表面崩裂程度影响.

关键词: ECR-CVD , DLC膜 , 内应力

反应热压法制备Al2O3/NiCrAl复合材料及功能梯度材料

李均钦 , 谷坤明 , 汤皎宁 , 谢盛辉 , 庄应烘

中国有色金属学报

采用NiO、Al和Cr粉末反应热压制备了Al2O3/NiCrAl复合材料,NiCrAl合金由NiO还原出来的Ni与添加的Cr和Al反应形成.制备了不同Al2O3含量的Al2O3/NiCrAl复合材料,并以Al2O3体积分数分别为25%、52.2%和75%的Al2O3/NiCrAl复合材料为过渡层制备了Y稳定氧化锆(YSZ)到NiCrAl合金的功能梯度材料.X射线衍射分析、金相观察、硬度测量和热循环冲击实验结果表明:用该方法制备的复合材料由Al2O3陶瓷相和(Ni,Cr,Al)固溶体组成,而Al2O3颗粒由NiO与Al原位反应形成,尺寸细小,呈弥散分布.该功能梯度材料经从室温到1 000℃空气中10次热循环后未发现有裂纹,表明该方法制备的材料陶瓷相与合金相有良好的相容性、较高的结合强度、良好的耐高温抗氧化及热循环冲击性能.

关键词: 反应热压法 , Al2O3/NiCrAl复合材料 , 功能梯度材料

Co-P-碳纳米管化学复合镀层的性能及结构研究

杨钦鹏 , 汤皎宁 , 谷坤明

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2007.06.001

采用化学镀的方法,将碳纳米管(CNT)作为第二相加入化学镀钴、磷镀液中,制得以Co-P-CNT为主的复合镀层.其中钴含量达41.4%,CNT含量达21.1%.采用显微硬度分析,磨损试验等方法对不同粒度的碳纳米管镀层进行了摩擦学性能和耐腐蚀性能等方面的对比;并运用X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)等手段对镀层的晶相结构进行了分析.结果表明,CNT的加入使复合镀层显微硬度下降,但耐腐蚀性和耐磨性提高;镀层内单质钴的钴峰产生了晶格畸变,晶格常数变小.

关键词: 碳纳米管 , 化学镀 , 复合镀层 , 钴-磷

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