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分步偏压溅射法制备碳化硅薄膜

严辉 , 谭利文 , 宋雪梅 , 王波 , 陈光华 , 姚振宇 , 刘立明 , 程业浩

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.z2.019

采用分步偏压射频溅射法,通过调整衬底负偏压,在不加热的条件下成功的制备出具有一定结晶取向的sic薄膜,傅立叶红外谱的分析表明,随着衬底偏压的增大,吸收峰位于800cm-1附近Si-C键的数量增大.表明高能氩离子的轰击有利于立方相SiC(β-SiC)的形成.从傅立叶红外光谱SiC特征吸收峰的FWHM表明,采用分步偏压法制备的SiC薄膜,比采用一步偏压法制备的薄膜的质量好.从SEM测试结果表明,SiC薄膜均匀致密,表面比较光滑.同时,在不锈钢衬底上沉积了SiC薄膜,对其防氚性能的测试结果表明氚的渗透率显著下降.

关键词: 分步偏压 , SiC , 溅射氚渗透率

金属离子(K+、Na+)阻燃纤维素纤维

高振华 , 姚田田 , 马腾飞 , 谭利文 , 徐冬梅 , 纪全 , 夏延致

高分子材料科学与工程

通过极限氧指数、热失重分析等测试手段对含有甲酸钾和甲酸钠的纤维素纤维织物进行燃烧、热稳定性能表征,并对其阻燃机理进行探讨.通过极限氧指数测试,发现经两种金属离子处理过的纤维素纤维的阻燃效果明显优于普通纤维素纤维,由此推断钾和钠化合物具有阻燃作用;热失重分析结果表明,阻燃纤维素纤维的残炭量增加;钾离子和钠离子处理后的纤维素热解活化能有所降低.根据分析测试的结果,提出了对于纤维素材料的金属离子阻燃机理.

关键词: 纤维素纤维 , 金属离子 , 阻燃 , 热稳定性

工作气压对制备立方氮化硼薄膜的影响

邓金祥 , 谭利文 , 王波 , 严辉 , 陈光华

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.z2.026

本文报道了工作气压对射频溅射法制备立方氮化硼(c-BN)薄膜影响的实验结果.c-BN薄膜沉积在p型Si(100)衬底上,溅射靶为六角氮化硼(h-BN),工作气体为Ar气和N2气混合而成,薄膜的成分由傅里叶变换红外吸收谱标识.结果表明,与射频功率、衬底温度和衬底负偏压一样,工作气压也是影响c-BN薄膜生长的重要参数.要得到一定立方相含量的氮化硼薄膜,必须要有合适的工作气压,否则,薄膜中不能形成立方相.在工作气压为5×10-3乇时,得到了立方相含量在90%以上的立方氮化硼薄膜.

关键词: 立方氮化硼 , 射频溅射 , 工作气压

纤维素-钙纤维的制备及阻燃性能表征

宗鲁 , 纪全 , 谭利文 , 云维采 , 夏延致

高分子材料科学与工程

将纤维素纤维接枝马来酸酐后,与CaCO3反应得的到含钙离子的纤维素-钙纤维,利用傅里叶变换红外光谱、极限氧指数、锥形量热对其燃烧性能及热稳定性进行了表征.傅里叶红外光谱在2597 cm-1的羧基O-H伸缩振动和1214cm-1的CO-OH的伸缩振动及纤维样品在在2500~2800cm-1区间内吸收峰的变化证明了接枝方法的可行性和纤维素-钙纤维成功制备.极限氧指数测试结果发现含有钙离子的纤维素纤维的阻燃性明显提高.通过锥形量热测试表明,钙离子促使纤维素纤维生成更多的残炭,降低了纤维燃烧过程中的热释放量.扫描电子显微镜对热解残渣分析表明,钙离子在纤维素纤维中的含量越高,残渣表面越致密,纤维阻燃性越好.最后提出钙离子对纤维素纤维的阻燃机理.

关键词: 纤维素纤维 , 钙离子 , 纤维素-钙纤维 , 马来酸酐 , 阻燃性

新型硅基双异质外延SOI材料Si/γ-Al2O3/Si制备

王启元 , 谭利文 , 王俊 , 郁元桓 , 林兰英

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.03.013

异质外延法是目前制备新型 SOI材料的技术途径之一.采用低压化学气相沉积技术(LPCVD)在硅衬底上先外延γ-Al2O3绝缘单晶薄膜,制备出硅衬底上外延氧化物外延结构γ-Al2O3/Si(EOS),然后采用类似 SOS薄膜生长的常压 CVD(APCVD)方法在 EOS上外延硅单晶薄膜,形成新型硅基双异质 SOI材料 Si/γ-Al2O3/Si.利用反射高能电子衍射(RHEED)、X射线衍射(XRD)、俄歇电子能谱(AES)及 MOS电学测量等技术表征分析了 Si(100)/γ-Al2O3(100)/Si(100)SOI异质结构的晶体结构、组分和电学性能.测试结果表明,已成功实现了高质量的新型双异质外延 SOI结构材料Si(100)/γ-Al2O3(100)/Si(100),γ-Al2O3与 Si外延薄膜均为单晶,γ-Al2O3薄膜具有良好绝缘性能,SOI结构界面清晰陡峭,该 SOI材料可应用于 CMOS电路的研制.

关键词: , Al2O3 , SOI , 外延生长

阻燃改性纤维素浆粕和阻燃纸的制备及表征

时冉 , 谭利文 , 程玲玲 , 李喜梅 , 纪全 , 夏延致

高分子材料科学与工程 doi:10.16865/j.cnki.1000-7555.2017.01.026

将降纤维素浆粕在不同温度下进行碱化、醚化,得到不同Na+含量的阻燃改性纤维素浆粕.利用红外光谱、极限氧指数、锥形量热和扫描电镜等测试方法,对改性纤维素浆粕的燃烧和阻燃性能进行了研究.结果表明,改性纤维素浆粕的最大氧指数达到34.0,远远高于纤维素的氧指数19.0,并且改性纤维素浆粕的总热释放量最小值为6.74 MJ/m2,远远低于纤维素的总热释放量20.44 MJ/m2.同时通过造纸工艺制备了海藻酸钙纤维-改性纤维素浆粕复合阻燃纸张,并利用极限氧指数、锥形量热和扫描电镜等测试方法,对复合纸的燃烧和阻燃性能进行了研究.

关键词: 改性纤维素浆粕 , 钠离子 , 阻燃 , 复合纸张 , 海藻酸钙纤维

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