彭红瑞
,
石玉龙
,
谢雁
,
赵程
材料保护
doi:10.3969/j.issn.1001-1560.1999.01.020
研究了用PCVD法所制备的TiN,TiAlN和TiSiN硬质涂层的抗高温氧化性能及TiN涂层在双氧水介质中的抗氧化性能.结果表明,TiAlN,TiSiN涂层在空气中的抗高温氧化温度达700 ℃以上,TiN涂层可达600 ℃.在双氧水介质中,PCVD-TiN涂层仍具有较强的抗氧化能力,且优于PVD-TiN涂层.
关键词:
涂层
,
抗氧化性能
,
等离子体化学气相沉积
,
TiN
,
TiAlN
,
TiSiN
