欢迎登录材料期刊网
何蕾 , 王倩 , 许思友 , 贾丽娟 , 王磊
材料导报
高能氢离子束溅射金属铝靶,沉积在单晶Si基片上的非晶薄膜是Al和Al2O3的混合物.在空气中对其进行900～1200℃的热处理,成功地制备了以不同结晶形式存在的多晶Al2 O3薄膜,讨论了不同退火温度对其结晶性能、表面形貌及红外吸收光谱的影响.为Al2O3薄膜制备与应用提供了良好借鉴.
关键词: Al2O3薄膜 , 溅射 , 退火 , 多晶
