材料期刊网

单晶硅的电化学钝化

杨军 , 邓薰南 , 许六妹

材料研究学报

常温下,用电化学氧化法在单晶硅表面形成SiO_2钝化膜,钝化液可为有机溶液或纯水,控制电压能调节钝化膜厚度。测试并比较了钝化膜的基本性能。

关键词: 单晶硅 , passivation , passive film