任煜
,
褚学宁
,
蔡莉霞
,
王滨
,
邓建国
,
陈运远
,
陈俊伟
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2006.12.027
针对目前工程材料数据库无法表达自然语言中模糊概念的现状,提出材料性能和模糊集合的匹配以及模糊语句向SQL语句转换的方法,建立了模糊查询模型.基于此开发了具有模糊查询功能的工程材料数据库,将模糊化查询语句精确化,对查询条件进行定量评判,从而完成材料选定.并在此数据库中,以曲轴选材为实例,验证了所提方法的可行性.
关键词:
工程材料
,
模糊查询
,
数据库
吴晓松
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褚学宁
,
李玉鹏
人工晶体学报
利用多响应正交试验方法研究了PECVD法沉积氮化硅薄膜的工艺参数的优化问题.鉴于目前针对多输出影响过程,尚无有效的方法进行工艺参数优化这一问题,利用综合评分法对衬底温度、气体总流量、NH3/SiH4流量比、反应腔气体压力、高频电场功率5个对氮化硅薄膜的主要质量特性影响较大的工艺参数进行全局优化,再对不满足质量期望的工艺参数进行部分正交分析,对全局优化的结果进行调整,得到最终的氮化硅镀膜的最优工艺参数.国内某光伏企业的验证试验表明了所提方法的有效性.
关键词:
PECVD
,
氮化硅薄膜
,
正交试验
,
工艺参数
