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姚中 , 虞维扬 , 黄剑 , 赵海燕
金属功能材料 doi:10.3969/j.issn.1005-8192.2001.03.006
FeSiAl材料具有优良的磁性能和耐磨、耐蚀性，但由于其脆性限制了它的应用。我们采用粉末冶金工艺直接通过压制成形烧结方法生产磁头芯片，不但节省材料而且大大简化了磁头加工工艺，使磁头的成本大幅度的降低，有利于发展FeSiAl磁头应用市场。
关键词: 粉末冶金 , FeSiAl , 磁头芯片
赵海燕 , 虞维扬 , 姚中
金属功能材料 doi:10.3969/j.issn.1005-8192.2001.03.005
本文采用DC直流溅射的方法研制了FeSiAl合金薄膜电感，并探讨了输入功率、靶与基板间距离等溅射成形条件及成膜速率的关系及其对薄膜电感性能的影响，同时还分析了不同状态下的FeSiAl合金薄膜的结构，讨论了产生DO3超结构的最佳工艺条件。
关键词: FeSiAl合金 , 薄膜电感 , DO3超结构
