欢迎登录材料期刊网
李成明 , 张勇 , 曹尔妍 , 薛明伦
中国有色金属学报
介绍了利用过滤电弧离子镀沉积(TiAl)N薄膜初步的研究结果. 在电弧靶材前沿的磁场作用下, 有效减小了薄膜的宏观颗粒尺寸, 并极大地降低了颗粒密度. 同时, 过滤电弧的作用, 使偏压对膜成分的影响减弱, 薄膜的硬度随膜中铝含量的增加而提高, (TiAl)N的抗氧化能力明显提高.
关键词: 过滤电弧 , 薄膜 , 宏观颗粒 , 抗氧化性能
