黄美东
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许世鹏
,
刘野
,
薛利
,
潘玉鹏
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范喜迎
表面技术
采用电弧离子镀技术,以W18Cr4V高速钢为基体,调整基体负偏压,制得多个复合TiAlN薄膜试样,研究了基体负偏压对薄膜微观组织形貌、物相组成、晶格位向、硬度、厚度和沉积速率的影响.结果表明,过高或过低的负偏压会使得膜层表面不平整,显微硬度下降.当负偏压为200 V时,膜层的沉积速率最大；负偏压为150 V时,有利于薄膜(111)晶面的择优取向生长,且TiAlN膜的硬度最高.
关键词:
电弧离子镀
,
TiAlN薄膜
,
负偏压
吕长东
,
黄关东
,
刘野
,
许世鹏
,
薛利
电镀与精饰
doi:10.3969/j.issn.1001-3849.2013.03.002
在国产SA-6T型离子镀膜机上利用反应直流溅射方法,在抛光后的W18Cr4V高速钢基体表面制备TiN膜层,考察氮气流量对薄膜色泽的影响.用扫描电镜对薄膜表面形貌进行观测,发现沉积的TiN膜层质量良好,无孔洞,表面平整、致密.采用色度计定量测试了TiN薄膜的色泽,并分析了氮气流量对色泽的影响.结果表明,氮气流量即沉积气压对装饰镀TiN薄膜的颜色有重要影响,通过调节氮气流量,可有效改变TiN膜层的色泽.TiN薄膜的颜色随氮气流量增大而加深.
关键词:
TiN薄膜
,
磁控溅射
,
装饰镀
,
色泽
,
氮气
