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采用半背沟注入提高PDSOI nMOSFETs的热载流子可靠性

吴峻峰 , 毕津顺 , 李多力 , 薛丽君 , 海潮和

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.006

提出了一个提高PDSOI nMOSFETs可靠性的方法,并且研究了这种器件的热载流子可靠性.这种方法是在制造器件中,进行背沟道注入时只注入背沟道一半的区域.应力试验结果表明这种新的器件和常规器件相比,展示了较低的热载流子退变.2D器件模拟表明在漏端降低的峰值电场有助于这种器件提高的热载流子可靠性.

关键词: 半背沟 , 热载流子 , 可靠性

气敏材料Au-WO3催化特性的物理解释

王旭升 , 薛丽君 , 周晓华 , 三浦则雄 , 山添升

功能材料

对Au-WO3粉体材料的制备及氨敏特性进行了研究,得到材料的电阻和对氨的灵敏度随Au含量的增加先增大,达到某一极值后减小的实验结果,本文还用透射电子显微镜(TEM)观察了Au颗粒在WO3表面的分布情况,发现Au颗粒的团聚现象.根据电子催化模型对Au在WO3表面的随机分布情况进行了计算机模拟,模拟结果与实验观测现象相符,在此基础上给出了Au颗粒催化机理的定性物理解释.

关键词: 半导体气体传感器 , 气敏机理 , 催化剂 , Au , WO3

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