吴美健
,
高振源
,
袁静
,
赵昆峰
,
蔡婷
,
杨玲
,
张涛
,
何丹农
无机材料学报
doi:10.15541/jim20160019
以十六烷基三甲基溴化铵(CTAB)为模板剂,氨水为沉淀剂,通过水热法并焙烧处理合成氧化铬催化剂.采用X射线衍射分析(XRD)、傅里叶变换红外光谱(FT-IR)、X射线光电子能谱(XPs)和透射电镜(TEM)等技术对催化剂的物化性质进行了表征,并考察常温不同NO初始浓度下氧化铬催化剂的NO氧化性能.结果表明:在空速为60000 mL/(g.h)和NO浓度为1×10-6的条件下,100℃水热温度制备的Cr-100催化剂表现出最优的性能,常温下NO消除率高达90％以上并保持120 h,其优异的常温催化性能与催化剂表面较高的Cr6+/Cr3+摩尔比有关.研究结果表明:催化剂的失活主要是由于硝酸根在催化剂表面的累积而导致催化剂活性中心被覆盖,低浓度下能减缓硝酸根的积累.
关键词:
水热法
,
常温
,
失活
,
氧化铬
朱平
,
蔡婷
材料科学与工艺
doi:10.11951/j.issn.1005-0299.20150320
为了改善MEMS超级电容器膜电极的致密性，通过在聚吡咯（ PPy）中引入苯磺酸钠（ BSNa）和氧化石墨烯（ GO）表面改性功能薄膜，实现聚吡咯薄膜在MEMS超级电容器三维微结构上的均匀沉积．借助扫描电镜（ SEM）、循环伏安测试（ CV）、交流阻抗谱测试（ EIS）、恒流充放电测试（ CP ）等手段对表面改性后的样品进行电化学性能测试．结果表明：当吡咯单体（Py）与BSNa摩尔比为1∶2，GO含量为0．4％时，在－0．4～1．0 V电压范围内，以100 mV／s速率扫描56圈，PPy薄膜的致密性最佳；表面改性可以在很大程度上减轻PPy颗粒的团聚，使得聚合后的PPy分子链排布紧密，形成了规整的网状立体结构；在放电电流为2 mA时，比容量可以达到13．3 mF／cm2，MEMS超级电容器的电化学性能得到改善．
关键词:
聚吡咯
,
氧化石墨烯
,
表面改性
,
致密性
,
三维微结构
,
MEMS超级电容器
王辰伟
,
刘玉岭
,
蔡婷
,
马锁辉
,
曹阳
,
高娇娇
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2013.24.018
对自主研发的多羟多胺络合剂(FA/O )在硅通孔技术(Through-silicon-via,TSV)化学机械平坦化(chemical mechanical planarization,CMP)进行了应用研究。结果表明,FA/O 络合剂较其它常用络合剂在碱性CMP 条件下对铜有较高的去除速率,抛光液中不加FA/O 络合剂时,铜的去除速率仅为45.0 nm/min,少量FA/O 的加入迅速提高了铜膜去除速率,当FA/O 含量为50 mL/L时,铜去除速率趋于平缓。在TSV Cu CMP中应用表明,FA/O 对铜的去除率可高达2.8μm/min,满足微电子技术进一步发展的要求。
关键词:
络合剂
,
TSV
,
化学机械平坦化
,
抛光速率
朱平
,
蔡婷
,
韩高义
,
熊继军
无机材料学报
doi:10.15541/jim20140500
为了解决氧化钌(RuO2)沉积电位过高, 难以在三维微结构金属集流体上直接沉积的问题, 提出采用分步电沉积方法在微三维结构镍(Ni)集流体上制备 RuO2复合膜电极, 即先在三维微结构 Ni 集流体上沉积聚吡咯/氧化石墨烯(PPy/GO)薄膜作为基底, 经热处理后, 在基底上二次沉积出RuO2颗粒, 最后再对RuO2复合薄膜进行二次热处理.扫描电子显微镜(SEM)观察显示, 随着热处理温度的升高, 薄膜表面多孔结构增多, 达到了提高膜电极结构孔隙分布的目的.能量分散谱(EDS)和X射线光电子能谱分析(XPS)表明, 薄膜中无定形RuO2·xH2O的存在保证了膜电极的大比容量.电化学性能测试结果表明,经105℃处理后的膜电极电化学性能最佳,比电容为28.5 mF/cm2,能量密度为0.04 Wh/m2,功率密度为14.25 W/m2.采用分步电沉积方法制备出的RuO2复合薄膜是一种良好的MEMS超级电容器电极材料.
关键词:
RuO2复合薄膜
,
分步电沉积
,
热处理
,
MEMS超级电容器
