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太阳能高反射薄膜制备技术对薄膜性能的影响

李海兵 , 徐勇军 , 蔡其文 , 涂伟萍 , 廖俊旭

中国表面工程 doi:10.11933/j.issn.1007-9289.2016.03.005

采用磁过滤阴极真空弧沉积(FCVAD)与磁控溅射(MS)两种技术在玻璃上制备厚度分别为75 nm和165 nm的Glass/Al高反射薄膜,利用Lambda 950分光光度计、扫描电子显微镜、原子力显微镜、附着力测试仪、摩擦试验机和加速老化试验箱分别表征薄膜的反射率、表面形貌、粗糙度、附着力、耐摩擦...

关键词: 光学薄膜 , 物理气相沉积 , 磁过滤阴极真空弧沉积 , 磁控溅射 , 高反射膜